晶圆级超声波扫描显微镜
Wafer400-A系列
超声波核心部件全栈自研
四探头协同晶圆快速超扫检测
满足Fab洁净度要求
符合Semi认证
晶圆干进干出
扫描结果自动合并、图像处理、缺陷显示、数据记录
具备晶圆工厂标准通讯软件,可与其他生产设备协同
超声波核心部件全栈自研
四探头协同晶圆快速超扫检测
满足Fab洁净度要求
符合Semi认证
晶圆干进干出
扫描结果自动合并、图像处理、缺陷显示、数据记录
具备晶圆工厂标准通讯软件,可与其他生产设备协同