英文
400-888-0829
在线式超声波扫描显微镜
应用范围
IGBT、SiC模组分层检测
半导体芯片封装分层检测
设备优势
自动或手动装卸样品
自动去除水泡
自动超声扫描
自动烘干样品
自动数据上传
密封盒支持快换
支持多探头检测
防水载具可定制
主要参数
图像推荐分辨率
1~4000μm
自动上下料
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自动检测
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产品工位
上下料工位、载具缓存工位、吹扫烘干工位、超扫工位
三轴有效行程
500×320×100㎜
最大扫描速度
1200㎜/s
扫描系统
X轴/Y轴直线电机，Z轴伺服电机
UPH
HPD 300μm ≥120
沪公网安备 31011202013830号